去年,芯源微生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備獲得了多個(gè)前道大客戶訂單及應(yīng)用,客戶覆蓋邏輯、存儲(chǔ)、功率器件及其他特種工藝等多家國內(nèi)廠商,包括中芯國際、上海華力、武漢新芯、廈門士蘭集科、揚(yáng)杰科技、青島芯恩、上海積塔等。
《安安訪談錄》是界面財(cái)聯(lián)社執(zhí)行總裁徐安安出品的一檔深度訪談?lì)悪谀?。從投資角度對話1000位行業(yè)領(lǐng)軍人物,覆蓋傳媒創(chuàng)新、VC/PE、信息服務(wù)、金融科技、交易體系、戰(zhàn)略新興等方向。
科創(chuàng)板日報(bào)《科創(chuàng)家》是由《安安訪談錄》出品的針對科創(chuàng)領(lǐng)域上市公司核心高管(包括但不限于董事長、創(chuàng)始人)的訪談節(jié)目,篳路藍(lán)縷敲鐘成,上下求索知路遠(yuǎn)。科創(chuàng)家們有哪些鮮為人知的傳奇經(jīng)歷?公司上市前后,他們的心路歷程有何變化?《科創(chuàng)家》與您一起探尋,以期遠(yuǎn)眺未來。
本期訪談人物:
芯源微董事長 宗潤福
“從零發(fā)展到今天,定下了一個(gè)芯片企業(yè)的源頭初心——這也是公司名字的由來,因而我們關(guān)注國家重大需求的大方向,不會(huì)隨著企業(yè)的發(fā)展而輕易改變?!?/p>
▍個(gè)人介紹
芯源微董事長
▍第一標(biāo)簽
中國半導(dǎo)體設(shè)備的突圍者
▍企業(yè)簡介
芯源微(688037.SH)成立于2002年,由中科院沈陽自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建,主要從事半導(dǎo)體涂膠顯影、清洗等設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售業(yè)務(wù),2019年12月順利在科創(chuàng)板上市。芯源公司總部位于沈陽市渾南區(qū),并在上海臨港設(shè)有全資子公司。芯源公司連續(xù)承擔(dān)國家02科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項(xiàng)目,連續(xù)兩年被評為中國半導(dǎo)體行業(yè)十強(qiáng)企業(yè)。
東北三省作為“共和國長子”,在我國工業(yè)化起步的階段,曾為獨(dú)立完整工業(yè)體系及國民經(jīng)濟(jì)體系建設(shè)起到舉足輕重的作用。隨著國家經(jīng)濟(jì)體制改革并步入轉(zhuǎn)型階段,東北這個(gè)以資源型、重工業(yè)為特色的“龍興之地”,鋒芒一度似被長三角、珠三角等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)域遮蔽。
然而一個(gè)有趣的現(xiàn)象是,在近些年,應(yīng)全國范圍內(nèi)數(shù)字經(jīng)濟(jì)、信息技術(shù)及制造業(yè)融合發(fā)展等的重大戰(zhàn)略契機(jī),東北“老工業(yè)基地”在半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、數(shù)字機(jī)械等領(lǐng)域陡然煥發(fā)生機(jī),涌現(xiàn)出的東北新力量不僅與國際先進(jìn)接軌,也成為國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)的重要組成部分。
特別是在半導(dǎo)體裝備及零部件領(lǐng)域,先后涌現(xiàn)出一批優(yōu)質(zhì)的上市或準(zhǔn)上市企業(yè),一股以優(yōu)秀企業(yè)為依托的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)集群已蔚然成風(fēng)。
今年6月,記者來到位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)彩云路的沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司進(jìn)行調(diào)研,在采訪中,這家國內(nèi)半導(dǎo)體涂膠顯影設(shè)備龍頭企業(yè)的董事長宗潤福跟我說,“公司趕上了好時(shí)候”。一方面沈陽當(dāng)?shù)卣^去為改善民營企業(yè)營商環(huán)境做出不少工作,支持企業(yè)創(chuàng)新;另一方面,科創(chuàng)板市場環(huán)境為硬科技公司提供了穩(wěn)固人才與再融資的政策保障,引入了創(chuàng)新活水。
宗潤福是記者到遼寧調(diào)研采訪的第一人。哈工大畢業(yè),沒架子,滿口東北話大實(shí)話,可講起專業(yè)來,專業(yè)術(shù)語英文與數(shù)字換算滔滔不絕,邏輯清晰,雙眼有神。他作為一位科學(xué)家,懂管理,會(huì)留人,業(yè)務(wù)骨干包括了清華學(xué)子以及新加坡海歸?,F(xiàn)場交流中易見,沒有宗潤福的個(gè)人性格韌勁,沒有芯源微今天,也沒有東北沈陽芯片走向全國,進(jìn)而走向科創(chuàng)板的今天。
在當(dāng)天采訪調(diào)研完成后,宗潤福后面還有幾個(gè)會(huì)議在公司新廠區(qū)會(huì)議室后排著,他專程陪記者至樓下合影。這位科技行業(yè)硬漢頭腦里好像編好了程序,不會(huì)錯(cuò)過任何細(xì)節(jié)。
“能在東北成長起來這么多有技術(shù)底蘊(yùn)、業(yè)務(wù)扎實(shí)規(guī)范,并且向國際先進(jìn)廠商供貨,有國際視野的高精尖半導(dǎo)體裝備企業(yè),可以說是有些‘奇葩’”。芯源微董事長宗潤福如此笑言外界對東北企業(yè)的固有認(rèn)知?!氨澈笤?,對芯源微來說,企業(yè)從創(chuàng)立到如今發(fā)展壯大,過程當(dāng)中離不開遼寧省、市、區(qū)三級政府的大力支持?!?/p>
宗潤福向記者感慨道:“比如公司此處的建設(shè)用地,2019年底上市后,次年3月份批地,7月份就開始動(dòng)工,充分體現(xiàn)出沈陽當(dāng)?shù)卣疄楦纳泼駹I企業(yè)營商環(huán)境以及提高辦事效率做出的努力?!?/p>
“當(dāng)然,技術(shù)能力、市場化表現(xiàn)、業(yè)務(wù)體量等,依然是政府看重企業(yè)的重要因素和配給資源的衡量指標(biāo),”宗潤福說道,“對芯源微來說,2008年前后是發(fā)展的重要拐點(diǎn),公司抓住國家重大專項(xiàng)機(jī)遇,開始實(shí)現(xiàn)小尺寸設(shè)備的供貨;到2014年?duì)I收規(guī)模就已經(jīng)突破1億元”。
之后,正如外界看到的企業(yè)成長節(jié)奏,隨著2015年拿到兩次重要股權(quán)或戰(zhàn)略融資,芯源微步入增長快車道,與國家芯片半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)入更深層次的同頻共振。
2019年12月16日,芯源微在科創(chuàng)板上市,首日收報(bào)64.50元/股,大漲139.15%。其后公司股價(jià)走勢經(jīng)歷震蕩下行后,于2021年5月上旬開始一路高歌,上漲至最高302.35元/股,較發(fā)行價(jià)翻10倍,一時(shí)間風(fēng)頭無量。
公司最新財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)顯示,今年上半年芯源微實(shí)現(xiàn)營收5.04億元,同比增長43.70%;歸母凈利潤6940.67萬元,同比增長97.91%。單季度來看,芯源微2022Q2營收3.21億元,較去年同期增長34.97%,創(chuàng)下公司歷史單季度營收最高紀(jì)錄。截至目前,芯源微總市值已突破二百億元。
01
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聚焦發(fā)展主業(yè)初心 本土化市場大有可為
芯源微自創(chuàng)立之時(shí)起,最為人津津樂道的是其濃厚的中科院基因。中科院作為國內(nèi)頂級科研院所,承擔(dān)了國家科研攻關(guān)、技術(shù)突破的重?fù)?dān)。中科院團(tuán)隊(duì)創(chuàng)業(yè),在先進(jìn)產(chǎn)業(yè)的布局方面,“好鋼究竟用在了什么樣的刀刃上”,芯源微由此被寄予期待。
2002年,中科院沈陽自動(dòng)化研究所作為主要股東發(fā)起創(chuàng)立了芯源微。在歷經(jīng)數(shù)次股權(quán)變遷后,目前中科院沈自所直接持有芯源微12.44%的股權(quán)。
宗潤福1988年至2002年在中科院沈自所工作14年,期間擔(dān)任過自動(dòng)化研究所科技處處長、室主任,于2002年起作為創(chuàng)始人在芯源微任職至今。
在提到公司身上的中科院烙印時(shí),宗潤福引用了中科院前院長路甬祥的話:“中科院有兩個(gè)輪子,一個(gè)是國家重大需求和基礎(chǔ)科學(xué)研究,另一個(gè)則是面向國民經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場?!?/strong>
在公司成立前夕,沈陽市渾南區(qū)圍繞先進(jìn)制造領(lǐng)域,規(guī)劃了半導(dǎo)體、人工智能、機(jī)器人、傳感器、先進(jìn)制造等5大方向。依托于中科院沈自所的自動(dòng)化技術(shù)基礎(chǔ),芯源微在沈陽渾南區(qū)發(fā)起成立,但宗潤?;貞?,實(shí)質(zhì)公司前期在半導(dǎo)體技術(shù)方面并沒有基礎(chǔ),“相當(dāng)于零起步”?!皬牧惆l(fā)展到今天,定下了一個(gè)芯片企業(yè)的源頭初心——這也是公司名字的由來,因而我們關(guān)注國家重大需求的大方向,不會(huì)隨著企業(yè)的發(fā)展而輕易改變”。
面對市場的諸多期待,如何回歸芯片事業(yè)源頭初心?宗潤福告訴《科創(chuàng)板日報(bào)》記者,一方面他會(huì)堅(jiān)定相信公司所做事業(yè)的價(jià)值。
“當(dāng)前芯源微在國內(nèi)前道涂膠顯影市場的市占率還不到5%,說明我們跟國際水平仍有差距,同時(shí)也意味著天花板很高。我們在傳統(tǒng)優(yōu)勢領(lǐng)域——圓片級封裝、化合物半導(dǎo)體、LED芯片制造等領(lǐng)域,已經(jīng)跟國際先進(jìn)水平實(shí)現(xiàn)并跑,但資本市場更關(guān)注我們未來在高端產(chǎn)品和前道大生產(chǎn)線的應(yīng)用”。
另一方面,“聚焦主業(yè)和主產(chǎn)品將會(huì)是公司發(fā)展的主旋律”。宗潤福介紹,企業(yè)上市之后融資能力變強(qiáng),視野更加開闊,面對的外部誘惑確實(shí)很多。“如果這山望到那山高,光看到別的市場或做別的產(chǎn)品可以過的‘滋潤’,行業(yè)內(nèi)很難做到第一?!绷硗猓皩τ谛驹次⑺龅姆菢?biāo)化產(chǎn)品領(lǐng)域,標(biāo)準(zhǔn)的制定關(guān)系到市場份額的分配,這一點(diǎn)上我們更希望專注自身,做‘吃肉’、‘喝湯’的那家企業(yè)?!?/strong>
02
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新興技術(shù)引領(lǐng) 后道涂膠顯影市場規(guī)模成倍增長
半導(dǎo)體設(shè)備與制造、封測環(huán)節(jié)聯(lián)系緊密,對應(yīng)分為前道設(shè)備和后道設(shè)備,在高端領(lǐng)域處于國外企業(yè)“一家獨(dú)大”的狀態(tài),是亟待本土化突破的重點(diǎn)領(lǐng)域。
從芯源微成立至今的歷程來看,公司發(fā)展的主線是從后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)、LED領(lǐng)域切入,拓展至MEMS、化合物等領(lǐng)域,并進(jìn)一步向前道晶圓制造領(lǐng)域延伸。
關(guān)于后道優(yōu)勢業(yè)務(wù)領(lǐng)域,此前VLSI行業(yè)數(shù)據(jù)顯示,其全球市場規(guī)模預(yù)計(jì)道2023年將增長至1.08億美元。不過宗潤福強(qiáng)調(diào),這一市場空間的估算現(xiàn)在看來太過保守。
“當(dāng)前全球先進(jìn)封裝的重地首先是在中國臺(tái)灣地區(qū),其次中國大陸也在蓬勃發(fā)展。技術(shù)進(jìn)步、工藝提升,先進(jìn)封裝所需的光刻次數(shù)越來越多,對光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)以及濕法設(shè)備的需求也會(huì)越多。”
宗潤福介紹,2021年僅芯源微一家公司在大陸市場,后道圓片級封裝、化合物半導(dǎo)體簽單量就已經(jīng)超過1億美元,遠(yuǎn)超美國VLSI調(diào)研機(jī)構(gòu)的預(yù)測,“我認(rèn)為現(xiàn)在市場規(guī)模較此前的預(yù)估至少可以放大三倍?!?/strong>
“未來后道市場工藝正在不斷升級進(jìn)步,比如由圓片級封裝到三維封裝、減薄、特殊晶圓襯底傳送以及第三代半導(dǎo)體等工藝升級,對設(shè)備來說提出各種各樣的要求,未來能夠適應(yīng)客戶需求,對我們來說就是一種競爭力的提升,同時(shí)也意味著市場空間的擴(kuò)增。”宗潤福表示,芯源微當(dāng)前發(fā)力前道芯片制造領(lǐng)域大設(shè)備突破,現(xiàn)在的優(yōu)勢是可以把前道的一些工藝技術(shù)和軟件,如堆疊式架構(gòu)以及工廠自動(dòng)化監(jiān)測軟件等,移植應(yīng)用到圓片封裝領(lǐng)域。
03
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前道涂膠顯影空間廣闊 KrF及以下節(jié)點(diǎn)國內(nèi)覆蓋率可至60%
按照工序、功用的不同分類,半導(dǎo)體前道設(shè)備中光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積機(jī)合計(jì)資本投資占比約60%,市場價(jià)值方面的“含金量”更高;不過涂膠顯影機(jī)、離子注入機(jī)、化學(xué)物理拋光機(jī)、清洗機(jī)等作為“小而美”賽道,市場絕對空間不小,亦是全球半導(dǎo)體先進(jìn)生產(chǎn)制造國欲爭奪的戰(zhàn)略要地。
從我國半導(dǎo)體設(shè)備的本土化進(jìn)展情況來看,多環(huán)節(jié)已現(xiàn)龍頭企業(yè)引領(lǐng)的格局。芯源微是國內(nèi)唯一一家可以提供中、高端涂膠顯影機(jī)的設(shè)備商,并且新布局的清洗設(shè)備也已順利導(dǎo)入市場。
相比外界此前對后道市場空間評估的保守,前道晶圓制造領(lǐng)域的價(jià)值更為明確。東方證券研報(bào)分析稱,2021年全球前道涂膠顯影設(shè)備市場規(guī)模約40億美元。
2018年,芯源微出廠驗(yàn)證第一臺(tái)前道涂膠顯影機(jī),標(biāo)志著公司成功切入前道市場;2020-2021年,公司加速拓展前道產(chǎn)品,持續(xù)突破高端涂膠顯影設(shè)備、清洗設(shè)備。
據(jù)最新發(fā)布的半年度財(cái)報(bào),芯源微上半年前道offline、I-line批量銷售并獲重復(fù)訂單,而此前宣布通過客戶ATP驗(yàn)收的前道KrF涂膠顯影機(jī),最新信息顯示也在今年上半年實(shí)現(xiàn)批量銷售,并獲得多家頭部晶圓廠的小批量重復(fù)訂單,整體前道涂膠顯影機(jī)新簽訂單規(guī)模同比大幅增長。
晶圓制造與封裝測試均需涂膠顯影設(shè)備,在關(guān)鍵尺寸及精度方面有所區(qū)別,一定程度上也決定了國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)成長路徑保持從后至前、由易及難的節(jié)奏。
宗潤福介紹,產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域內(nèi)光刻機(jī)設(shè)備的稀缺,也是造成其他環(huán)節(jié)發(fā)展相對滯緩的原因。
“光刻機(jī)是整個(gè)芯片生產(chǎn)線最昂貴的設(shè)備,一般來說客戶端購買光刻機(jī)后,一定是讓它滿產(chǎn)量產(chǎn),對涂膠顯影設(shè)備廠商來說很難獲取光刻機(jī)進(jìn)行聯(lián)機(jī)驗(yàn)證;其次,聯(lián)機(jī)驗(yàn)證階段對設(shè)備可靠性和產(chǎn)品生產(chǎn)良率要求較高?!?/p>
“當(dāng)前我們主要是在KrF節(jié)點(diǎn)的機(jī)臺(tái),在客戶端的驗(yàn)證應(yīng)用和量產(chǎn)最為成熟?!弊跐櫢1硎?,若I-line、 KrF機(jī)臺(tái)能夠在客戶端實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn),先進(jìn)制程領(lǐng)域能夠覆蓋的市場范圍約在50%,“不過由于國內(nèi)現(xiàn)在功率器件制造需求很火,預(yù)計(jì)市場覆蓋可進(jìn)一步提升至60%”。今后公司前道涂膠顯影機(jī)會(huì)沿著KrF、ArF技術(shù)路線,繼續(xù)攻克新的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。
04
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前道清洗設(shè)備率先爆發(fā) 銷售規(guī)模優(yōu)勢顯現(xiàn)
在前道市場,相對涂膠顯影設(shè)備,芯源微前道物理清洗機(jī)設(shè)備的研發(fā)與市場導(dǎo)入走得更為靠前,目前已形成公司主要收入來源,多家券商機(jī)構(gòu)直言其為芯源微“第二增長曲線“。
2020年,公司前道物理清洗機(jī)在國內(nèi)多個(gè)重點(diǎn)客戶處通過驗(yàn)證;2021年獲得中芯國際、上海華力、武漢新芯、廈門士蘭集科、揚(yáng)杰科技、青島芯恩、上海積塔等國內(nèi)多家Fab廠商的批量重復(fù)訂單。
清洗步驟數(shù)量約占芯片制造工序步驟的30%以上,為第一大工序。據(jù)SEMI今年6月的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)粗略計(jì)算,2021年全球半導(dǎo)體前道清洗設(shè)備市場規(guī)模已超過50億美元。
宗潤福介紹,公司切入清洗設(shè)備領(lǐng)域的原因主要在于清洗機(jī)和涂膠顯影機(jī)有共同的機(jī)電平臺(tái),比如機(jī)械手傳送調(diào)度、離心機(jī)高速旋轉(zhuǎn)、噴灑等,是顯影特有的工藝。“顯影的單片刻蝕、去膠,實(shí)際上與清洗工藝的過程是一樣的,所以公司在涂膠顯影機(jī)電平臺(tái)的基礎(chǔ)上,開發(fā)了清洗設(shè)備。國際大廠DNS、東京電子同樣如此,既做涂膠顯影機(jī),也做清洗機(jī)?!?/strong>
在清洗機(jī)的分類方面,首先分為槽式清洗和單片清洗,其次單片清洗又分為物理清洗和化學(xué)清洗,其中當(dāng)前化學(xué)清洗占主流,市場占比超80%,物理清洗不到20%。芯源微目前清洗設(shè)備均為單片物理式清洗機(jī),單片式化學(xué)清洗機(jī)也在研發(fā)中。
“公司當(dāng)前已經(jīng)批量銷售的物理清洗機(jī),早在2017年就投入開發(fā)了。宗潤福表示,公司Spin Scrubber清洗設(shè)備在28納米及以上產(chǎn)線批量應(yīng)用的清洗設(shè)備中,數(shù)量大于國內(nèi)其他廠家銷售臺(tái)數(shù)之和,目前已成為國內(nèi)各大Fab廠Baseline首選產(chǎn)品?!?/p>
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科創(chuàng)板股權(quán)激勵(lì)與再融資 為企業(yè)引入創(chuàng)新活水
2019年底在科創(chuàng)板上市后,芯源微融資能力增強(qiáng),同時(shí)實(shí)施了積極的股權(quán)激勵(lì)。宗潤福感慨,公司“生逢其時(shí)”,抓住了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展機(jī)遇,也趕上了科創(chuàng)板的大市場。
“公司在科創(chuàng)板的第一個(gè)收益就是股權(quán)激勵(lì)。近幾年半導(dǎo)體市場火熱,核心技術(shù)人才價(jià)值也受到重視,我們實(shí)施的股權(quán)激勵(lì)共覆蓋139人次,使員工收入加倍,在沈陽當(dāng)?shù)匦纬闪巳瞬盼{與匯集的優(yōu)勢,極大穩(wěn)定了我們的團(tuán)隊(duì)?!?/p>
“其次,科創(chuàng)板再融資政策也為公司技術(shù)與市場的持續(xù)擴(kuò)張?zhí)峁┝吮U稀薄?/p>
今年6月,芯源微發(fā)布2021年定增報(bào)告書,宣布引入易方達(dá)基金、中信證券、華泰資管、JP Morgan等知名投資機(jī)構(gòu),增發(fā)10億元用來推進(jìn) ArF 光刻工藝涂膠顯影機(jī)、浸沒式光刻工藝涂膠顯影機(jī)及單片式化學(xué)清洗機(jī)等高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。這是科創(chuàng)板首個(gè)真正意義上的溢價(jià)發(fā)行,最終發(fā)行價(jià)124.29元/股,是前20個(gè)交易日均價(jià)的105.4%。
隨著近日定增項(xiàng)目前期申報(bào)、引資落地,芯源微上海臨港子公司建設(shè)正如火如荼展開。宗潤福將上海臨港視為公司未來發(fā)展的橋頭堡,希望能夠借此更加靠近人才、客戶、供應(yīng)鏈,達(dá)成公司更長遠(yuǎn)的發(fā)展目標(biāo):
“希望公司能加速實(shí)現(xiàn)前道涂膠顯影機(jī)和單片清洗機(jī)的本土化進(jìn)程,同時(shí)保持在先進(jìn)封裝及小尺寸成熟產(chǎn)品的領(lǐng)先地位,未來3-5年?duì)I收保持持續(xù)增長;在更長遠(yuǎn)的未來成長為一個(gè)世界級企業(yè),有一定的營收規(guī)模、自主創(chuàng)新的能力和全球化銷售的布局。”