【國產光刻膠通過量產驗證】《科創(chuàng)板日報》15日訊，據(jù)“中國光谷”今日消息，光谷企業(yè)近日在半導體專用光刻膠領域實現(xiàn)重大突破：武漢太紫微光電科技有限公司推出的T150 A光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現(xiàn)配方全自主設計，有望開創(chuàng)國內半導體光刻制造新局面。該產品對標國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱之為“妖膠”的國外同系列產品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達到120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經過刻蝕，下層介質的側壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。