2023年09月21日 18:07:01
有研集團(tuán)集成電路用高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目正式投產(chǎn)
《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》21日訊,有研集團(tuán)日前宣布,其所屬企業(yè)有研億金新材料有限公司“集成電路用高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目”在山東德州正式投產(chǎn)。據(jù)悉,項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制程所需高端靶材規(guī)模化量產(chǎn),公司此前開發(fā)的12英寸系列靶材已成功用于國(guó)內(nèi)先進(jìn)制程邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片。
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